氮化鋁陶瓷是以氮化鋁(AlN)為主晶相的氮化物陶瓷,屬于六方纖鋅礦型晶體結(jié)構(gòu),化學(xué)組成為鋁65.81%、氮34.19%。其熱導(dǎo)率達(dá)170-320W/(m·K),熱膨脹系數(shù)與硅和砷化鎵匹配,兼具高絕緣性、耐高溫(2200℃穩(wěn)定)及抗熔融金屬侵蝕等特性,主要應(yīng)用于電子封裝基板、集成電路散熱、LED照明器件及高溫耐蝕部件。
1、氮化鋁粉末純度高,粒徑小,活性大,是制造高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷基片的主要原料。
2、氮化鋁陶瓷基片,熱導(dǎo)率高,膨脹系數(shù)低,強(qiáng)度高,耐高溫,耐化學(xué)腐蝕,電阻率高,介電損耗小,是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料。
3、氮化鋁硬度高,超過傳統(tǒng)氧化鋁,是新型的耐磨陶瓷材料,但由于造價(jià)高,只能用于磨損嚴(yán)重的部位。
4、利用AIN陶瓷耐熱耐熔體侵蝕和熱震性,可制作GaAs晶體坩堝、Al蒸發(fā)皿、磁流體發(fā)電裝置及高溫透平機(jī)耐蝕部件,利用其光學(xué)性能可作紅外線窗口。氮化鋁薄膜可制成高頻壓電元件、超大規(guī)模集成電路基片等。
5、氮化鋁耐熱、耐熔融金屬的侵蝕,對(duì)酸穩(wěn)定,但在堿性溶液中易被侵蝕。AIN新生表面暴露在濕空氣中會(huì)反應(yīng)生成極薄的氧化膜。 利用此特性,可用作鋁、銅、銀、鉛等金屬熔煉的坩堝和燒鑄模具材料。AIN陶瓷的金屬化性能較好,可替代有毒性的氧化鈹瓷在電子工業(yè)中廣泛應(yīng)用。
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