氮化硅陶瓷的工藝方法
氮化硅陶瓷是一種燒結(jié)時不收縮的無機材料陶瓷。氮化硅的強度很高,尤其是熱壓氮化硅,是世界上較堅硬的物質(zhì)之一。具有高強度、低密度、耐高溫等性質(zhì)。
它是用硅粉作原料,先用通常成型的方法做成所需的形狀,在氮氣中及1200℃的高溫下進行初步氮化,使其中一部分硅粉與氮反應(yīng)生成氮化硅,這時整個坯體已經(jīng)具有一定的強度。然后在1350℃~1450℃的高溫爐中進行第二次氮化,反應(yīng)成氮化硅。用熱壓燒結(jié)法可制得達到理論密度99%的氮化硅。
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